ナノ加工・計測序論とファンドリー実習

微細加工の基本的なプロセスを系統的に概観する序論と、ファンドリー施設内での実習を体感することにより、微細加工・評価技術を総合的に学びます。ナノテク加工技術を習得したい学生向けの体験型門授業です。

期 間 2014年9月22日(月)~9月26日(金)
会 場 筑波大学 茨城県つくば市天王台1-1-1
物質・材料研究機構
内 容 第1日(9/22) ナノ加工概論、クリーンルーム概論、リソグラフィ概論、ウェットエッチング技術、実習内容の講義①・②
第2日(9/23) ドライエッチング技術、成膜技術、プロセス実施例(MEMS・MOSデバイス)、FIB、プロセスを考える演習、ポスターセッション
第3日(9/24) ファンドリー実習(加工プロセス1日目)
第4日(9/25) ファンドリー実習(加工プロセス2日目)
第5日(9/26) ファンドリー実習(作製デバイスの評価)
対象者 大学院生及び社会人
※所属大学指導教員等の推薦書があれば、大学4年生、高専専攻科2年生の参加を認めます。
募集人数 15名程度(原則として全日参加できる方)
選考方法 書類選考(応募多数の場合は大学院生を優先します。)
受講料 無料
その他の費用 ■ 交通費・宿泊費
学生:補助あり 学生以外の方:自己負担
お申し込みについて 募集を締め切りました。
単位修得について 大学院生は単位修得が可能です。
特別聴講学生の手続きはこちら
事前説明会 参加希望者は下記の事前説明会に出席してください。出席できない場合は、事務局まで連絡願います。
日時:7月25日(金)午後4時45分~ 場所:筑波大学3B304講義室
詳細はこちらを参照ください。
お問い合わせ 筑波大学 TIA推進室 E-mail:tia-edu★un.tsukuba.ac.jp
※★部分を@に変えてご連絡ください。
主 催 筑波大学大学院 数理物質科学研究科、物質・材料研究機構

お申込み前に必ず募集要項の内容をご確認ください。

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