微細加工の基本的なプロセスを系統的に概観する序論と、ファンドリー施設内での実習を体感することにより、微細加工・評価技術を総合的に学びます。ナノテク加工技術を習得したい学生向けの体験型門授業です。
| 期 間 | 2014年9月22日（月）～9月26日（金） |
|---|---|
| 会 場 | 筑波大学 茨城県つくば市天王台1-1-1 物質・材料研究機構 |
| 内 容 | 第1日（9/22） ナノ加工概論、クリーンルーム概論、リソグラフィ概論、ウェットエッチング技術、実習内容の講義①・② 第2日（9/23） ドライエッチング技術、成膜技術、プロセス実施例（MEMS・MOSデバイス）、FIB、プロセスを考える演習、ポスターセッション 第3日（9/24） ファンドリー実習（加工プロセス1日目） 第4日（9/25） ファンドリー実習（加工プロセス2日目） 第5日（9/26） ファンドリー実習（作製デバイスの評価） |
| 対象者 | 大学院生及び社会人 ※所属大学指導教員等の推薦書があれば、大学4年生、高専専攻科2年生の参加を認めます。 |
| 募集人数 | 15名程度（原則として全日参加できる方） |
| 選考方法 | 書類選考（応募多数の場合は大学院生を優先します。） |
| 受講料 | 無料 |
| その他の費用 | ■ 交通費・宿泊費 学生：補助あり 学生以外の方：自己負担 |
| お申し込みについて | 募集を締め切りました。 |
| 単位修得について | 大学院生は単位修得が可能です。 特別聴講学生の手続きはこちら |
| 事前説明会 | 参加希望者は下記の事前説明会に出席してください。出席できない場合は、事務局まで連絡願います。 日時：7月25日（金）午後4時45分～ 場所：筑波大学３B３０４講義室 詳細はこちらを参照ください。 |
| お問い合わせ | 筑波大学 TIA推進室 E-mail：tia-edu★un.tsukuba.ac.jp ※★部分を@に変えてご連絡ください。 |
| 主 催 | 筑波大学大学院 数理物質科学研究科、物質・材料研究機構 |
お申込み前に必ず募集要項の内容をご確認ください。
