| 期 間 | 2015年8月27日（木）、8月28日（金） |
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| 会 場 | 産業技術総合研究所つくば東NMEMSイノベーション棟 |
| 内 容 | テーマ 「大口径最先端光学式評価装置を用いた圧電体薄膜の評価」 8/27（木） 13:30集合（NMEMSイノベーション棟１F受付ロビー）： 入構方法、集合場所等は参加者に別途ご案内致します。 １）13:40-13:45 開催の挨拶 ２）13:45-14:10 オリエンテーションとMNOICの概要説明 ３）14:10-15:10 圧電体薄膜とMEMS応用概論 ４）15:20-16:20 圧電体薄膜評価装置の概要 ５）16:20-17:20 実習の説明 ６）17:30-18:00 簡単な懇親会 8/28（金） １）9:00 集合（NMEMSイノベーション棟２F会議室） ２）9:00-10:45 測定用サンプル作製（エッチング＆形状観察） ３）11:00-12:00 圧電測定評価（アグザクトおよびマニュアルプローバー） ４）13:00-15:00 圧電測定評価続き ５）15:15-16:15 データ整理 ６）16:15-16:30 まとめと反省会 |
| 受講料 | 学生（社会人学生を含む）： 無料 一般（企業等）： 3万円（消費税込） アカデミア（大学、公的研究機関）： 1.5万円（消費税込） ※研究支援料および資料代（ホテル代、昼食代は含みません） |
| 交通費・宿泊費 | 自己負担 ※宿泊場所等は各自でご予約ください。 |
| 最少実施人数 | ３名 恐れ入りますが、申込者が2名以下の場合は実施を延期、或いは中止する場合がありますのでご容赦ください。また実習形式のため、先着順に10名に達した時点で締切とさせて頂きます。 |
| お申込み | 【申込方法】 以下を記入の上、メールにてお申し込みください。 ＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊ 郵便番号： ご住所： 法人名： ご所属： ご氏名： 連絡先（電話）： メールアドレス： 請求書の宛先・宛名（上記と異なる場合）： 参加費区分（ご選択ください）： 一般 ・ 学生 ・ MNOIC年間利用コース ・ MEMS協議会 その他、ご連絡内容： ＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊ 【申込先】 email：h_watanabe#@#mmc.or.jp ※#@#を 「@」 に置き換えてください。 一般財団法人 マイクロマシンセンター（MMC） MEMS協議会事務局 MNOIC研究企画部 渡辺 秀明 宛 【支払方法】 お申込みの確認後、受付メールをお送りします。お申し込みのご住所に請求書と受講票をご郵送しますので、当日は、受講票をご持参ください。お振込みは９月３０日（水）までにお願いいたします。また、お振込み期限を過ぎる場合には、お振込み予定日をメールまたはFAXにてお知らせください。尚、MNOICの年間利用コースの利用法人は１法人につき1名が無料となります。またMEMS協議会会員はアカデミア料金でご参加可能です。 |
| 主 催 | 一般財団法人マイクロマシンセンターMEMS協議会MNOIC事業 |
| 後 援 | 産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センター |
