TIAナノエレクトロニクス・ナノテクノロジーサマースクール

ナノエレクトロニクス技術の基礎知識から各種分野のアプリケーションの応用展開まで、様々な角度からナノエレクトロニクス技術を収集できる機会です。世界で活躍する第一線の大学教員及び研究者による講義を主とし、実習や施設見学を行います。また、異分野の学生や企業との交流の機会として、TIAナノグリーン・サマースクールとの合同ポスターセッションや交流会を実施しています。

2023年度

第1日：半導体・デバイス物理Ⅰ、半導体・デバイス物理Ⅱ
第2日：MOSトランジスタ形成プロセスⅠ、MOSトランジスタ形成プロセスⅡ
第3日：薄膜形成プロセス(Atomic Layer Deposition)、機械学習を用いた半導体製造プロセス探索
第4日：論理回路とLSIの基礎、Logic Design: Power, Performance, Area (PPA); Design-Techonology Co-Optimization (DTCO); System-Technology Co-Optimization (STCO)
第5日：Technology trend for next generation 3D system and devices I、Technology trend for next generation 3D system and devices II
~ Advanced technologies of 3DIC packaging ~

2022年度

第1日：半導体・デバイス物理
第2日：MOSトランジスタ形成プロセス
第3日：薄膜・新材料
第4日：論理回路とLSIの基礎
第5日：次世代３Dシステム・デバイスに向けた技術動向について

2019年度

第1日：ICの基礎、デバイス物理、リソグラフィ技術、フロントエンドプロセス
第2日：TCAD実習とSCR棟の見学
第3日：極薄膜、バックエンドプロセス、グラフェン、ReRAM

2018年度

第1日：ICの基礎、デバイス物理、リソグラフィの基礎、ウエット洗浄nmスケールの化学
第2日：TCAD実習、SCR棟/計測分析技術・HIM見学
第3日：極薄膜、バックエンドプロセス、ナノエレ・ナノグリーン合同ポスターセッション、合同交流会
第4日：脳のリバースエンジニアリングと創発コンピューティング、シリコンフォトニクス、新ゲート絶縁膜

2017年度

第1日：ICの基礎、デバイス物理、ナノエレ・ナノグリーン合同ポスターセッション、合同交流会
第2日：TCAD実習、SCR棟/計測分析技術・HIM見学
第3日：リソグラフィの基礎、極薄膜（ナノレベルの半導体製造プロセス）、ウェット洗浄nmスケールの化学、バックエンドプロセス
第4日：宇宙デバイス（私たちは惑星探査機「はやぶさ」をどのように打ち上げたか）、GeあるいはSiGeを使ったMOSFET技術、ナノカーボン配線

2016年度

第1日：ICの基礎、デバイス物理、合同ポスターセッション、合同交流会
第2日：TCAD実習、SCR棟／計測分析技術・HIM ＠産業技術総合研究所西事業所 TIA連携棟見学
第3日：リソグラフィの基礎、電気特性評価技術、エッチング基礎と最先端、MOSFET形成技術
第4日：新デバイス、メモリと材料物性、センサー+IC

2015年度

※「TIAナノエレクトロニクス・サマースクール」として実施
第1日：ICの概要、デバイス物理、合同ポスターセッション、合同交流会
第2日：TCAD実習、SCR（スーパークリーンルーム）見学
第3日：リソグラフィ、エッチング、フロントエンドプロセス、バックエンドプロセス
第4日：回路技術、新デバイス、フレキシブルエレクトロニクス

2014年度

※「TIAナノエレクトロニクス・サマースクール」として実施
第1日：ICの概要、デバイス物理、リソグラフィ、エッチング、ナノエレ・ナノグリーン合同交流会
第2日：フロントエンドプロセス、バックエンドプロセス、ナノエレ・ナノグリーン合同ポスターセッション
第3日：TCAD実習、SCR（スーパークリーンルーム）棟見学
第4日：新デバイス、科学技術戦略、農業・生物・環境応用

2013年度

※「TIAナノエレクトロニクス・サマースクール」として実施
第1日：LSI工学、エッチング、リソグラフィ、ナノエレ・グリーン合同交流会
第2日：ゲート絶縁膜、ナノエレ・グリーン合同ポスターセッション
第3日：多層配線Ⅰ・Ⅱ、CNTⅠ（合成・材料特性）・Ⅱ（デバイス応用）
第4日：設計Ⅰ（回路設計）・Ⅱ（トランジスタ特性と回路）、設計実習　【筑波大学】
第5日：TCAD、計測・分析技術、新デバイス、将来アプリケーション
見学会：〈オプション〉TIA-nano施設見学【高エネルギー加速器研究機構】
企業見学（講演）【インテル株式会社つくばオフィス】