ナノエレクトロニクス技術の基礎知識から各種分野のアプリケーションの応用展開まで、様々な角度からナノエレクトロニクス技術を収集できる機会です。世界で活躍する第一線の大学教員及び研究者による講義を主とし、実習や施設見学を行います。また、異分野の学生や企業との交流の機会として、TIAナノグリーン・サマースクールとの合同ポスターセッションや交流会を実施しています。

参加者の声

授業で扱っていないデバイス製作の各過程や最新動向を知ることができ、より広い視野を持てるようになった。（2019年度、大学院生）

TCAD実習で、自分のデバイスへの応用可能性に気づき、今後も関連する知識を学びたいと感じた。（2019年度、大学院生）

一級の研究者が解決してきた問題や現在抱えている問題がわかりやすく学べます。（2018年度、社会人）

業界の最新の動向を知ることができて良かったです。（2018年度、社会人）

一般企業からの参加です。非常に分かりやすい説明で有意義なセミナーでした。可能であれば今後、自社の部下にも参加して欲しいです（2017年度、社会人）

今回のスクールに参加して、実験施設を見れる機会がもっとあったら良いと思いました。（2017年度、大学院生）

話がわかりやすく、基礎から最先端まで学ぶことができて、非常に濃密な時間を過ごすことができました。（2016年度、大学院生）

想像以上に、広い分野の方が参加しており、異分野の研究者と交流できた良い刺激に充ちた素晴らしい4日間でした。大学の友人や後輩に、このサマースクールをぜひ勧めたいです。（2016年度、大学院生）

TCADの実習では（時間がかかって難しいと思いますが）、３次元でのシミュレーションもしてみたかったです。（2016年度、大学院生）

学生なので交通費、宿泊費がかからず、このような素晴らしい会に参加でき、大変勉強になりました。この分野の勉強を始めて、日は浅いですが、とても分かりやすい講義でした。（2016年度、大学院生）

内容は難しいと感じましたが、今後の就職で活かせると思います。今回、このような研修を行ってくれてありがとうございました。（2016年度、学部生）

トランジスタの製造技術や最新の研究動向を知ることができ、さらに研究施設の見学もできて大変有意義でした。（2015年度、大学院生）

施設見学の際、移動手段や昼食の手配など配慮をいただきありがたかった。すべてにわたり満足できる講習でした。受講生同士や講師がざっくばらんに交流・議論できる時間があると更に良いと思いました。（2015年度、大学院生）

非常に密度の高いサマースクールでした。大学の講義では得られないような幅広い知識を身に付けることができました。（2014年度、学部生）

基礎的な分野から応用分野まで幅広い内容で、興味深く聞くことができました。また、科学技術戦略の講義に関しては、普段参加する講演では聞くことのできない話が多く、自分の視野を広げる良い機会となりました。また、TCAD実習は今回初の試みと伺いましたが、今後もぜひ続けてほしいです。（2014年度、大学院生）

ナノエレ・ナノグリーンの多くの方とポスター、懇親会で交流することができ、非常にすばらしい経験になりました。特にポスターセッションでは多くのご意見、アドバイスをいただいたので、今後の研究の参考にさせていただきます。（2014年度、大学院生）

このサマースクールでは、最先端の研究者の方々から直に講義を受けることで、教科書で学ぶことのできない最先端の応用まで知ることができた。さらに、その内容に対して他大学で研究している方と議論したことは貴重な経験となった。ポスター発表のあとには、互いの研究の応用・発展について夜遅くまで議論を行い、同じ業界で今後生きていく同年代の人間関係が形成できた。（2013年度）

ナノエレクトロニクス分野の過去から現在、そして未来への流れを知ることができ、とても有意義で充実した時間を過ごすことができました。また、他大学や他研究室の学生と交流でき、刺激を受けたり考えを共有したりと、自分自身の幅も広がったと感じております。（2013年度）

2019年度

第1日：ICの基礎、デバイス物理、リソグラフィ技術、フロントエンドプロセス
第2日：TCAD実習とSCR棟の見学
第3日：極薄膜、バックエンドプロセス、グラフェン、ReRAM

2018年度

第1日：ICの基礎、デバイス物理、リソグラフィの基礎、ウエット洗浄nmスケールの化学
第2日：TCAD実習、SCR棟/計測分析技術・HIM見学
第3日：極薄膜、バックエンドプロセス、ナノエレ・ナノグリーン 合同ポスターセッション、合同交流会
第4日：脳のリバースエンジニアリングと創発コンピューティング、シリコンフォトニクス、新ゲート絶縁膜

2017年度

第1日：ICの基礎、デバイス物理、ナノエレ・ナノグリーン合同ポスターセッション、合同交流会
第2日：TCAD実習、SCR棟/計測分析技術・HIM見学
第3日：リソグラフィの基礎、極薄膜（ナノレベルの半導体製造プロセス）、ウェット洗浄nmスケールの化学、バックエンドプロセス
第4日：宇宙デバイス（私たちは惑星探査機「はやぶさ」をどのように打ち上げたか）、GeあるいはSiGeを使ったMOSFET技術、ナノカーボン配線

2016年度

• 第1日：ICの基礎、デバイス物理、合同ポスターセッション、合同交流会
• 第2日：TCAD実習、SCR棟／計測分析技術・HIM ＠産業技術総合研究所 西事業所 TIA連携棟見学
• 第3日：リソグラフィの基礎、電気特性評価技術、エッチング基礎と最先端、MOSFET形成技術
• 第4日：新デバイス、メモリと材料物性、センサー+IC

2015年度

• ※「TIAナノエレクトロニクス・サマースクール」として実施
• 第1日：ICの概要、デバイス物理、合同ポスターセッション、合同交流会
• 第2日：TCAD実習、SCR（スーパークリーンルーム）見学
• 第3日：リソグラフィ、エッチング、フロントエンドプロセス、バックエンドプロセス
• 第4日：回路技術、新デバイス、フレキシブルエレクトロニクス

2014年度

• ※「TIAナノエレクトロニクス・サマースクール」として実施
• 第1日：ICの概要、デバイス物理、リソグラフィ、エッチング、ナノエレ・ナノグリーン合同交流会
• 第2日：フロントエンドプロセス、バックエンドプロセス、ナノエレ・ナノグリーン合同ポスターセッション
• 第3日：TCAD実習、SCR（スーパークリーンルーム）棟見学
• 第4日：新デバイス、科学技術戦略、農業・生物・環境応用

2013年度

• ※「TIAナノエレクトロニクス・サマースクール」として実施
• 第1日：LSI工学、エッチング、リソグラフィ、ナノエレ・グリーン合同交流会
• 第2日：ゲート絶縁膜 、ナノエレ・グリーン合同ポスターセッション
• 第3日：多層配線Ⅰ・Ⅱ、CNTⅠ（合成・材料特性）・Ⅱ（デバイス応用）
• 第4日：設計Ⅰ（回路設計）・Ⅱ（トランジスタ特性と回路）、設計実習　【筑波大学】
• 第5日：TCAD、計測・分析技術、新デバイス、将来アプリケーション
• 見学会：〈オプション〉TIA-nano施設見学【高エネルギー加速器研究機構】
  企業見学（講演）【インテル株式会社つくばオフィス】