MEMS技術の基礎的知識から各分野のアプリケーションへの応⽤展開まで、様々な⾓度からMEMS技術を収集することができる機会です。交流会や施設見学(オプション)も設けています。
2013年度
- 第1日:マイクロマシニング1・2、接合実装、光MEMS
- 第2日:自動車・家電・安全、マイクロアクチュエータ、Pont-of-Careマイクロデバイスのための光MEMS集積技術、マイクロ/ナノ電極システムを用いたバイオセンシング、高機能電気化学マイクロデバイス、医療・ヘルスケア応用、MEMS試作・少量生産サービスと社会課題対応センサネットワーク、MEMS開発と製品製作、交流会
- 第3日:製造検査関連、ナノ構造と応用、マイクロエネルギー源、情報・通信応用、圧電フィルタ、電圧MEMSデバイス
- 見学会:<オプション>筑波大学微細加工プラットフォーム