微細加工の基本的なプロセスを系統的に概観する序論と、ファンドリー施設内での実習を体感することにより、微細加工・評価技術を総合的に学びます。ナノテク加工技術を習得したい学生向けの体験型入門授業です。
参加者の声
| クリーンルームや半導体プロセスなどを体験でき、とても充実した5日間でした。今回学んだことを今後の研究にもいかしていきたいと思います。（2014年度、大学院生） |
| 私は今の仕事で実際に半導体プロセスに関わっているのですが、その理論的な部分や原理について再認識する事ができました。またFIBの実習では装置を実際に使用する事が出来て、改めて必要に感じる事もできました。（2014年度、社会人） |
2014年度
- 第1日：ナノ加工概論、クリーンルーム概論、リソグラフィ概論、ウェットエッチング技術、実習内容の講義
- 第2日：ドライエッチング技術、成膜技術、プロセス実施例（MOSデバイス、MEMS）、FIB、プロセスを考える演習＆ポスターセッション
- 第3～5日：ファンドリー実習（電子デバイスコース、ナノ計測コース）
